A tisztaterek üzemeltetésére és kialakítására vonatkozólag léteznek EU, USA, és egyéb országok szabványai. Lényegében a leggyakrabban használt szabványok az FED-STD-209E és az ISO 14644-1. Mindkét szabvány azon alapul, hogy a adott légtérfogatban milyen méretű és számú idegenanyag vagy részecske megengedett. Hivatalosan a FED-STD 209 E tisztatéri szabvány visszavonásra került, de még mindig széles körben használják.
USA FED STD 209E tisztatéri szabvány összefoglalása:
| Osztály |
legnagyobb részecske / ft ³ |
ISO |
| ≥ 0,1 μm |
≥ 0,2 μm |
≥ 0,3 μm |
≥ 0,5 μm |
≥ 5 μm |
megfelelő |
| 1 |
35 |
7 |
3 |
1 |
|
ISO 3 |
| 10 |
350 |
75 |
30 |
10 |
|
ISO 4 |
| 100 |
|
750 |
300 |
100 |
|
ISO 5 |
| 1.000 |
|
|
|
1.000 |
7 |
ISO 6 |
| 10.000 |
|
|
|
10.000 |
70 |
ISO 7 |
| 100.000 |
|
|
|
100.000 |
700 |
ISO 8 |
ISO 14644-1 tisztatéri szabvány összefoglalása:
| Osztály |
legnagyobb részecske / m³ |
FED STD 209E megfelelője |
| ≥ 0,1 μm |
≥ 0,2 μm |
≥ 0,3 μm |
≥ 0,5 μm |
≥ 1 μm |
≥ 5 μm |
| ISO 1 |
10 |
2 |
|
|
|
|
|
| ISO 2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
|
|
|
| ISO 3 |
1.000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
Class 1 |
| ISO 4 |
10.000 |
2.370 |
1.020 |
352 |
83 |
|
Class 10 |
| ISO 5 |
100.000 |
23.700 |
10.200 |
3.520 |
832 |
29 |
Class 100 |
| ISO 6 |
1.000.000 |
237.000 |
102.000 |
35.200 |
8.320 |
293 |
Class 1.000 |
| ISO 7 |
|
|
|
352.000 |
83.200 |
2.930 |
Class 10.000 |
| ISO 8 |
|
|
|
3.520.000 |
832.000 |
29.300 |
Class 100.000 |
| ISO 9 |
|
|
|
35.200.000 |
8.320.000 |
293.000 |
Helyiség levegő |